Леонов, Юрий Сергеевич. - Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 29 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Леонов, Юрий Сергеевич.
Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 29 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 29 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
FB 9 91-2/2134-9
FB 9 91-2/2135-7
FB 9 91-3/294-2
Описание
Автор | Леонов, Юрий Сергеевич |
---|---|
Заглавие | Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 04.07.1991 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | АН СССР. Физ.-технол. ин-т |
Выходные данные | Москва, 1990 |
Физическое описание | 29 с. |
Тема | Физика полупроводников и диэлектриков |
BBK-код | В379.227,03 |
В333.42,03 | |
Специальность | 01.04.10: Физика полупроводников |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 91-2/2134-9 |
FB 9 91-2/2135-7 | |
FB 9 91-3/294-2 |