Леонов, Юрий Сергеевич - Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Леонов, Юрий Сергеевич.

Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 29 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 91-2/2134-9
FB 9 91-2/2135-7
FB 9 91-3/294-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВзаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 04.07.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Физ.-технол. ин-т
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание29 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.227,03
В333.42,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 91-2/2134-9
FB 9 91-2/2135-7
FB 9 91-3/294-2