Прохоцкий, Юрий Михайлович - Высокоразрешающие процессы образования изображения в микролитографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01

Карточка

Прохоцкий, Юрий Михайлович.

Высокоразрешающие процессы образования изображения в микролитографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Ин-т кибернетики. - Киев, 1991. - 33 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 92-1/138-9
FB 9 92-1/139-7

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВысокоразрешающие процессы образования изображения в микролитографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 11.03.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т кибернетики
Выходные данныеКиев, 1991
Физическое описание33 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.1-060.6,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 92-1/138-9
FB 9 92-1/139-7