Валиев, Саттарали Ахмедович - Влияние плазменной обработки на отжиг дефектов и активацию легирующих примесей в имплантированных МДП-структурах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Валиев, Саттарали Ахмедович.

Влияние плазменной обработки на отжиг дефектов и активацию легирующих примесей в имплантированных МДП-структурах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Ин-т полупроводников. - Киев, 1990. - 14 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 90-8/2208-0

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние плазменной обработки на отжиг дефектов и активацию легирующих примесей в имплантированных МДП-структурах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 02.01.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т полупроводников
Выходные данныеКиев, 1990
Физическое описание14 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.271.5,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-8/2208-0