Ковешников, Сергей Викторович. - Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Ковешников, Сергей Викторович.
Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 92-3/990-7
FB 9 92-3/991-5
Описание
| Автор | Ковешников, Сергей Викторович |
|---|---|
| Заглавие | Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 01.07.1992 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов |
| Выходные данные | Черноголовка, 1992 |
| Физическое описание | 18 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З843.308.014-1,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 92-3/990-7 |
| FB 9 92-3/991-5 |
