Ковешников, Сергей Викторович - Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Ковешников, Сергей Викторович.
Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 92-3/990-7
FB 9 92-3/991-5
Описание
Автор | Ковешников, Сергей Викторович |
---|---|
Заглавие | Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 01.07.1992 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов |
Выходные данные | Черноголовка, 1992 |
Физическое описание | 18 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З843.308.014-1,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 92-3/990-7 |
FB 9 92-3/991-5 |