Ковешников, Сергей Викторович - Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Ковешников, Сергей Викторович.

Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 92-3/990-7
FB 9 92-3/991-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 01.07.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов
Выходные данныеЧерноголовка, 1992
Физическое описание18 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ843.308.014-1,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 92-3/990-7
FB 9 92-3/991-5