Шалаева, Елизавета Викторовна - Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04

Карточка

Шалаева, Елизавета Викторовна.
Шалаева, Елизавета Викторовна.

Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04 / Ин-т химии твердого тела. - Екатеринбург, 1993. - 22 с.
Физическая химия
FB 9 93-1/2226-5
FB 9 93-1/2227-3

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 29.04.1993
Дата поступления в ЭБ 06.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т химии твердого тела
Выходные данныеЕкатеринбург, 1993
Физическое описание22 с.
ТемаФизическая химия
BBK-кодГ597,0
Специальность02.00.04: Физическая химия
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 93-1/2226-5
FB 9 93-1/2227-3
Электронный адрес Электронный ресурс