Ерохин, Юрий Николаевич. - Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов. - Москва, 1991. - 14 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Ерохин, Юрий Николаевич.
Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов. - Москва, 1991. - 14 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов. - Москва, 1991. - 14 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 91-3/3267-1
FB 9 91-3/3268-x
Описание
| Автор | Ерохин, Юрий Николаевич |
|---|---|
| Заглавие | Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 26.08.1991 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | АН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов |
| Выходные данные | Москва, 1991 |
| Физическое описание | 14 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | В379.227,03 |
| В379.271.21,03 | |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 91-3/3267-1 |
| FB 9 91-3/3268-x |
