Бакланов, Михаил Родионович - Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si, Ge и SiO2 : автореферат дис. ... доктора химических наук : 02.00.04

Карточка

Бакланов, Михаил Родионович.

Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si, Ge и SiO2 : автореферат дис. ... доктора химических наук : 02.00.04 / АН СССР. Ин-т неорган. химии. - Новосибирск, 1991. - 47 с.
Физическая химия
FB 9 91-6/2449-4
FB 9 91-6/2450-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеГетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si, Ge и SiO2 : автореферат дис. ... доктора химических наук : 02.00.04
Дата поступления в ЭК 23.01.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Ин-т неорган. химии
Выходные данныеНовосибирск, 1991
Физическое описание47 с.
ТемаФизическая химия
BBK-кодЗ844.15-060.14-1,0
Специальность02.00.04: Физическая химия
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 91-6/2449-4
FB 9 91-6/2450-8