Степина, Наталья Петровна - Дефектообразование и проникновение примеси при низкоэнергетичном ионном легировании кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Степина, Наталья Петровна.
Степина, Наталья Петровна.

Дефектообразование и проникновение примеси при низкоэнергетичном ионном легировании кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 14 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 89-9/1175-2
FB 9 89-9/1176-0

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеДефектообразование и проникновение примеси при низкоэнергетичном ионном легировании кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 09.01.1990
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников
Выходные данныеНовосибирск, 1989
Физическое описание14 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 89-9/1175-2
FB 9 89-9/1176-0