Никифоров, Александр Иванович - Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Никифоров, Александр Иванович.
Экспресс-заказ фрагмента
Никифоров, Александр Иванович.
Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1994. - 16 с.

Физика твердого тела
Шифр хранения:
FB 9 94-2/3622-0

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 16.01.1995
Дата поступления в ЭБ 17.01.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т физики полупроводников
Выходные данныеНовосибирск, 1994
Физическое описание16 с.
ТемаФизика твердого тела
BBK-кодВ379.251.4-6,03
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-2/3622-0
Электронный адрес Электронный ресурс