Бесогонов, Валерий Валентинович - Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13

Экспресс-заказ фрагмента
Бесогонов, Валерий Валентинович.
Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 / Физ.-техн. ин-т. - Москва, 1996. - 18 с.

Системы и устройства радиотехники и связи
Шифр хранения:
FB 9 98-1/3529-8
FB 9 98-1/3530-1

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 23.06.1998
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФиз.-техн. ин-т
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание18 с.
ТемаСистемы и устройства радиотехники и связи
BBK-кодЗ844.13-060.7-5,0
Специальность05.12.13: Системы, сети и устройства телекоммуникаций
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-1/3529-8
FB 9 98-1/3530-1