Пак Чер. - Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т тонкой хим. технологии. - Москва, 1992. - 26 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Пак Чер.
Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т тонкой хим. технологии. - Москва, 1992. - 26 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т тонкой хим. технологии. - Москва, 1992. - 26 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 92-4/119-6
FB 9 92-4/120-x
Описание
| Автор | Пак Чер |
|---|---|
| Заглавие | Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 25.09.1992 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Моск. ин-т тонкой хим. технологии |
| Выходные данные | Москва, 1992 |
| Физическое описание | 26 с. |
| Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
| BBK-код | В379.251.4-6,03 |
| В379.271.5,03 | |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 92-4/119-6 |
| FB 9 92-4/120-x |
