Пак Чер - Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06

Карточка

Пак Чер.

Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т тонкой хим. технологии. - Москва, 1992. - 26 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 92-4/119-6
FB 9 92-4/120-x

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 25.09.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т тонкой хим. технологии
Выходные данныеМосква, 1992
Физическое описание26 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодВ379.251.4-6,03
В379.271.5,03
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 92-4/119-6
FB 9 92-4/120-x