Свиркова, Наталья Николаевна. - Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. энергетический ин-т. - Москва, 1997. - 20 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Свиркова, Наталья Николаевна.
Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. энергетический ин-т. - Москва, 1997. - 20 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. энергетический ин-т. - Москва, 1997. - 20 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
FB 9 97-1/2877-9
FB 9 97-1/2878-7
Описание
| Автор | Свиркова, Наталья Николаевна |
|---|---|
| Заглавие | Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 08.07.1997 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 12.12.2007 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Моск. энергетический ин-т |
| Выходные данные | Москва, 1997 |
| Физическое описание | 20 с. |
| Тема | Физика полупроводников и диэлектриков |
| BBK-код | З844.13-060.7-64-5-05,0 |
| Специальность | 01.04.10: Физика полупроводников |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 97-1/2877-9 |
| FB 9 97-1/2878-7 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
