Свиркова, Наталья Николаевна - Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Свиркова, Наталья Николаевна.
Свиркова, Наталья Николаевна.

Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. энергетический ин-т. - Москва, 1997. - 20 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 97-1/2877-9
FB 9 97-1/2878-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного ионноплазменного распыления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 08.07.1997
Дата поступления в ЭБ 12.12.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. энергетический ин-т
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание20 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодЗ844.13-060.7-64-5-05,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 97-1/2877-9
FB 9 97-1/2878-7
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Документ

Страница 1 / 1