Филачев, Анатолий Михайлович - Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04

Филачев, Анатолий Михайлович.
Экспресс-заказ фрагмента
Филачев, Анатолий Михайлович.
Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04 / НИИ электронной и ионной оптики. - Москва, 1997. - 55 с.

Физическая электроника
Шифр хранения:
FB 9 98-2/1609-3
FB 9 98-2/1610-7

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 30.07.1998
Дата поступления в ЭБ 27.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ электронной и ионной оптики
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание55 с.
ТемаФизическая электроника
BBK-кодЖ614-1,0
Специальность01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-2/1609-3
FB 9 98-2/1610-7
Электронный адрес Электронный ресурс