Филачев, Анатолий Михайлович - Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04

Карточка

Филачев, Анатолий Михайлович.
Филачев, Анатолий Михайлович.

Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04 / НИИ электронной и ионной оптики. - Москва, 1997. - 55 с.
Физическая электроника
FB 9 98-2/1609-3
FB 9 98-2/1610-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 30.07.1998
Дата поступления в ЭБ 27.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ электронной и ионной оптики
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание55 с.
ТемаФизическая электроника
BBK-кодЖ614-1,0
Специальность01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-2/1609-3
FB 9 98-2/1610-7
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Документ

Страница 1 / 1