Райнова, Мария Юрьевна. - Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 22 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Райнова, Мария Юрьевна.
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 22 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 22 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 97-2/556-0
FB 9 97-2/557-9
Описание
| Автор | Райнова, Мария Юрьевна |
|---|---|
| Заглавие | Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 12.08.1997 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 05.05.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Моск. ин-т электронной техники |
| Выходные данные | Москва, 1997 |
| Физическое описание | 22 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.15-049.71-035-1,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 97-2/556-0 |
| FB 9 97-2/557-9 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
