Гущин, Игорь Витальевич - Исследование и разработка системы диагностики элементов вакуумного оборудования : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Гущин, Игорь Витальевич.

Исследование и разработка системы диагностики элементов вакуумного оборудования : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана. - Москва, 1997. - 16 с.
Оборудование производства электронной техники
FB 9 97-3/2730-5
FB 9 97-3/2731-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка системы диагностики элементов вакуумного оборудования : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Дата поступления в ЭК 15.12.1997
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание16 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.1-06-5-082.051,0
З77-5-082.051-64,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 97-3/2730-5
FB 9 97-3/2731-3