Козлов, Владимир Валентинович - Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Козлов, Владимир Валентинович.
Козлов, Владимир Валентинович.

Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Научно-производственное об-ние "Физика". - Москва, 1997. - 28 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 97-5/1498-9
FB 9 97-5/1499-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 17.03.1998
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНаучно-производственное об-ние "Физика"
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание28 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ86-531.8-03,0
З843.324.408,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 97-5/1498-9
FB 9 97-5/1499-7
Электронный адрес Электронный ресурс