Козлов, Владимир Валентинович. - Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Научно-производственное об-ние "Физика". - Москва, 1997. - 28 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Козлов, Владимир Валентинович.
Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Научно-производственное об-ние "Физика". - Москва, 1997. - 28 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Научно-производственное об-ние "Физика". - Москва, 1997. - 28 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 97-5/1498-9
FB 9 97-5/1499-7
Описание
| Автор | Козлов, Владимир Валентинович |
|---|---|
| Заглавие | Исследование и разработка технологии коллоидно-химического полирования поверхности арсенида галлия : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 17.03.1998 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 05.05.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Научно-производственное об-ние "Физика" |
| Выходные данные | Москва, 1997 |
| Физическое описание | 28 с. |
| Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
| BBK-код | З86-531.8-03,0 |
| З843.324.408,0 | |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 97-5/1498-9 |
| FB 9 97-5/1499-7 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
