Смирнов, Валерий Константинович - Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Смирнов, Валерий Константинович.
Смирнов, Валерий Константинович.

Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т микроэлектроники. Рос. академия наук. - Москва, 1995. - 35 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 95-4/1373-7
FB 9 95-4/1374-5

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИонно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 20.06.1996
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т микроэлектроники. Рос. академия наук
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание35 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.152-015с38,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 95-4/1373-7
FB 9 95-4/1374-5
Электронный адрес Электронный ресурс