Смирнов, Валерий Константинович. - Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т микроэлектроники. Рос. академия наук. - Москва, 1995. - 35 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Смирнов, Валерий Константинович.
Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т микроэлектроники. Рос. академия наук. - Москва, 1995. - 35 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т микроэлектроники. Рос. академия наук. - Москва, 1995. - 35 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 95-4/1373-7
FB 9 95-4/1374-5
Описание
| Автор | Смирнов, Валерий Константинович |
|---|---|
| Заглавие | Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 20.06.1996 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 05.05.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Ин-т микроэлектроники. Рос. академия наук |
| Выходные данные | Москва, 1995 |
| Физическое описание | 35 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.152-015с38,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 95-4/1373-7 |
| FB 9 95-4/1374-5 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
