Иванов, Алексей Сергеевич - Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11

Карточка

Иванов, Алексей Сергеевич.
Иванов, Алексей Сергеевич.

Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 / Северо-Западный заочный политехнический ин-т. - Санкт-Петербург, 1995. - 20 с.
Методы контроля и диагностика в машиностроении
FB 9 96-3/1353-0
FB 9 96-3/1354-9

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИнтерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 17.02.1997
Дата поступления в ЭБ 27.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиСеверо-Западный заочный политехнический ин-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1995
Физическое описание20 с.
ТемаМетоды контроля и диагностика в машиностроении
BBK-кодЗ843.322.4-1с34,0
Специальность05.02.11: Методы контроля и диагностика в машиностроении
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 96-3/1353-0
FB 9 96-3/1354-9
Электронный адрес Электронный ресурс