Иванов, Алексей Сергеевич. - Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 / Северо-Западный заочный политехнический ин-т. - Санкт-Петербург, 1995. - 20 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Иванов, Алексей Сергеевич.
Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 / Северо-Западный заочный политехнический ин-т. - Санкт-Петербург, 1995. - 20 с.
Методы контроля и диагностика в машиностроении
Шифр хранения:
Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 / Северо-Западный заочный политехнический ин-т. - Санкт-Петербург, 1995. - 20 с.
Методы контроля и диагностика в машиностроении
Шифр хранения:
FB 9 96-3/1353-0
FB 9 96-3/1354-9
Описание
| Автор | Иванов, Алексей Сергеевич |
|---|---|
| Заглавие | Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 17.02.1997 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 27.02.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Северо-Западный заочный политехнический ин-т |
| Выходные данные | Санкт-Петербург, 1995 |
| Физическое описание | 20 с. |
| Тема | Методы контроля и диагностика в машиностроении |
| BBK-код | З843.322.4-1с34,0 |
| Специальность | 05.02.11: Методы контроля и диагностика в машиностроении |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 96-3/1353-0 |
| FB 9 96-3/1354-9 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
