Иванов, Алексей Сергеевич. - Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 / Северо-Западный заочный политехнический ин-т. - Санкт-Петербург, 1995. - 20 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Иванов, Алексей Сергеевич.
Иванов, Алексей Сергеевич.
Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 / Северо-Западный заочный политехнический ин-т. - Санкт-Петербург, 1995. - 20 с.

Методы контроля и диагностика в машиностроении
Шифр хранения:
FB 9 96-3/1353-0
FB 9 96-3/1354-9

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИнтерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 17.02.1997
Дата поступления в ЭБ РГБ 27.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиСеверо-Западный заочный политехнический ин-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1995
Физическое описание20 с.
ТемаМетоды контроля и диагностика в машиностроении
BBK-кодЗ843.322.4-1с34,0
Специальность05.02.11: Методы контроля и диагностика в машиностроении
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 96-3/1353-0
FB 9 96-3/1354-9
Электронный адрес Электронный ресурс