Борзенко, Татьяна Борисовна - Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Борзенко, Татьяна Борисовна.

Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. - Черноголовка, 1996. - 20 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 96-2/417-0
FB 9 96-2/418-9

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 06.12.1996
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
Выходные данныеЧерноголовка, 1996
Физическое описание20 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.16-060.6-3.069,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 96-2/417-0
FB 9 96-2/418-9