Борзенко, Татьяна Борисовна. - Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. - Черноголовка, 1996. - 20 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Борзенко, Татьяна Борисовна.
Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. - Черноголовка, 1996. - 20 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН. - Черноголовка, 1996. - 20 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 96-2/417-0
FB 9 96-2/418-9
Описание
| Автор | Борзенко, Татьяна Борисовна |
|---|---|
| Заглавие | Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 06.12.1996 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН |
| Выходные данные | Черноголовка, 1996 |
| Физическое описание | 20 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.16-060.6-3.069,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 96-2/417-0 |
| FB 9 96-2/418-9 |
