Васильев, Андрей Георгиевич. - Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. - Москва, 1995. - 35 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Васильев, Андрей Георгиевич.
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. - Москва, 1995. - 35 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. - Москва, 1995. - 35 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 95-5/122-9
FB 9 95-5/123-7
FB 9 96-1/540-7
FB 9 96-1/541-5
Описание
| Автор | Васильев, Андрей Георгиевич |
|---|---|
| Заглавие | Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 15.07.1996 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 05.05.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Рос. академия наук |
| Выходные данные | Москва, 1995 |
| Физическое описание | 35 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.15-060.7-1,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 95-5/122-9 |
| FB 9 95-5/123-7 | |
| FB 9 96-1/540-7 | |
| FB 9 96-1/541-5 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
