Матвийкив, Михаил Дмитриевич - Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13, 05.27.01

Карточка

Матвийкив, Михаил Дмитриевич.
Матвийкив, Михаил Дмитриевич.

Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13, 05.27.01 / Гос. ун-т. - Санкт-Петербург, 1996. - 32 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 98-1/1713-3
FB 9 98-1/1714-1

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13, 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 12.05.1998
Дата поступления в ЭБ 31.07.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиГос. ун-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1996
Физическое описание32 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-04,0
Специальность05.12.13: Системы, сети и устройства телекоммуникаций
05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-1/1713-3
FB 9 98-1/1714-1
Электронный адрес Электронный ресурс