Матвийкив, Михаил Дмитриевич. - Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13, 05.27.01 / Гос. ун-т. - Санкт-Петербург, 1996. - 32 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Матвийкив, Михаил Дмитриевич.
Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13, 05.27.01 / Гос. ун-т. - Санкт-Петербург, 1996. - 32 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13, 05.27.01 / Гос. ун-т. - Санкт-Петербург, 1996. - 32 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 98-1/1713-3
FB 9 98-1/1714-1
Описание
| Автор | Матвийкив, Михаил Дмитриевич |
|---|---|
| Заглавие | Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13, 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 12.05.1998 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 31.07.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Гос. ун-т |
| Выходные данные | Санкт-Петербург, 1996 |
| Физическое описание | 32 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.15-04,0 |
| Специальность | 05.12.13: Системы, сети и устройства телекоммуникаций |
| 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 98-1/1713-3 |
| FB 9 98-1/1714-1 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
