Кузмичев, Андрей Валентинович - Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21

Карточка

Кузмичев, Андрей Валентинович.

Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21 / Ин-т общей физики. - Москва, 1995. - 23 с.
Лазерная физика
FB 9 95-1/1830-1
FB 9 95-1/1831-x

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21
Дата поступления в ЭК 15.05.1995
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т общей физики
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание23 с.
ТемаЛазерная физика
BBK-кодЗ844.1-060.14-1,0
Специальность01.04.21: Лазерная физика
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 95-1/1830-1
FB 9 95-1/1831-x