Зайцев, Александр Геннадьевич - Исследование процесса магнетронного распыления с целью получения сверхпроводниковых покрытий : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02

Карточка

Зайцев, Александр Геннадьевич.

Исследование процесса магнетронного распыления с целью получения сверхпроводниковых покрытий : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Ленингр. электротехн. ин-т. - Ленинград, 1991. - 13 с.
Вакуумная и плазменная электроника
FB 9 91-3/1145-3
FB 9 91-3/1146-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование процесса магнетронного распыления с целью получения сверхпроводниковых покрытий : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02
Дата поступления в ЭК 01.08.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЛенингр. электротехн. ин-т
Выходные данныеЛенинград, 1991
Физическое описание13 с.
ТемаВакуумная и плазменная электроника
BBK-кодЗ855-060.7-1,0
Специальность05.27.02: Вакуумная и плазменная электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 91-3/1145-3
FB 9 91-3/1146-1