Гельбух, Сергей Сергеевич - Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом ожеэлектронной спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Гельбух, Сергей Сергеевич.
Гельбух, Сергей Сергеевич.

Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом ожеэлектронной спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Саратовский ин-т радиотехники и электроники. - Саратов, 1996. - 14 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 96-3/3571-2
FB 9 96-3/3572-0

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом ожеэлектронной спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 23.03.1997
Дата поступления в ЭБ 12.10.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиСаратовский ин-т радиотехники и электроники
Выходные данныеСаратов, 1996
Физическое описание14 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодГ582с16,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 96-3/3571-2
FB 9 96-3/3572-0
Электронный адрес Электронный ресурс