Жариков, Сагиндык Киякбаевич. - Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокимидозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Москва, 1995. - 24 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Жариков, Сагиндык Киякбаевич.
Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокимидозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Москва, 1995. - 24 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокимидозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Москва, 1995. - 24 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 96-2/3851-2
FB 9 96-2/3852-0
Описание
| Автор | Жариков, Сагиндык Киякбаевич |
|---|---|
| Заглавие | Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокимидозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 28.01.1997 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
| Выходные данные | Москва, 1995 |
| Физическое описание | 24 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | В379.247,03 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 96-2/3851-2 |
| FB 9 96-2/3852-0 |
