Пак Джон Ун - Исследование структурных несовершенств и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах методом электродного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Пак Джон Ун.
Экспресс-заказ фрагмента
Пак Джон Ун.
Исследование структурных несовершенств и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах методом электродного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т тонкой хим. технологии. - Москва, 1990. - 14 с.

Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 90-10/3581-3
FB 9 90-10/3582-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование структурных несовершенств и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах методом электродного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 12.03.1991
Дата поступления в ЭБ 02.10.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т тонкой хим. технологии
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание14 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ843.308-1с33,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-10/3581-3
FB 9 90-10/3582-1
Электронный адрес Электронный ресурс