Ефремов, Алексей Александрович - Исследование структурных особенностей кремний-кислородных пленок методом масс-спектрометрии вторичных ионов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Ефремов, Алексей Александрович.
Ефремов, Алексей Александрович.

Исследование структурных особенностей кремний-кислородных пленок методом масс-спектрометрии вторичных ионов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Ин-т полупроводников. - Киев, 1990. - 15 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 90-10/1338-0
FB 9 90-10/1339-9

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование структурных особенностей кремний-кислородных пленок методом масс-спектрометрии вторичных ионов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 21.02.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т полупроводников
Выходные данныеКиев, 1990
Физическое описание15 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.226с1,03
В379.224-6с1,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-10/1338-0
FB 9 90-10/1339-9