Стрижков, Илья Борисович - Исследование субмикронных рельефных прямоугольных структур методом растровой электронной микроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Стрижков, Илья Борисович.
Стрижков, Илья Борисович.

Исследование субмикронных рельефных прямоугольных структур методом растровой электронной микроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Ин-т общей физики. - Москва, 1994. - 23 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 94-1/4078-9
FB 9 94-1/4079-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование субмикронных рельефных прямоугольных структур методом растровой электронной микроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 28.06.1994
Дата поступления в ЭБ 13.12.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т общей физики
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание23 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодЗ844.1-01с341.2,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-1/4078-9
FB 9 94-1/4079-7
Электронный адрес Электронный ресурс