Овчаренко, Евгений Николаевич. - Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ физических проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1993. - 24 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Овчаренко, Евгений Николаевич.
Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ физических проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1993. - 24 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ физических проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1993. - 24 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 94-1/575-4
Описание
| Автор | Овчаренко, Евгений Николаевич |
|---|---|
| Заглавие | Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 01.03.1994 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 29.01.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | НИИ физических проблем им. Ф. В. Лукина |
| Выходные данные | Москва, 1993 |
| Физическое описание | 24 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.152-06-64-5-05,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 94-1/575-4 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
