Чэкай, Дионизы. - Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова. - Ленинград, 1989. - 14 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Чэкай, Дионизы.
Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова. - Ленинград, 1989. - 14 с.
Вакуумная и плазменная электроника
Шифр хранения:
Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова. - Ленинград, 1989. - 14 с.
Вакуумная и плазменная электроника
Шифр хранения:
FB 9 89-4/3329-x
FB 9 89-4/3330-3
Описание
| Автор | Чэкай, Дионизы |
|---|---|
| Заглавие | Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 27.07.1989 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 09.12.2021 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова |
| Выходные данные | Ленинград, 1989 |
| Физическое описание | 14 с. |
| Тема | Вакуумная и плазменная электроника |
| BBK-код | З844.13-060.7-1,0 |
| Специальность | 05.27.02: Вакуумная и плазменная электроника |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 89-4/3329-x |
| FB 9 89-4/3330-3 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
