Чэкай, Дионизы - Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02

Карточка

Чэкай, Дионизы.

Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова. - Ленинград, 1989. - 14 с.
Вакуумная и плазменная электроника
FB 9 89-4/3329-x
FB 9 89-4/3330-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02
Дата поступления в ЭК 27.07.1989
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЛенингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова
Выходные данныеЛенинград, 1989
Физическое описание14 с.
ТемаВакуумная и плазменная электроника
BBK-кодЗ844.13-060.7-1,0
Специальность05.27.02: Вакуумная и плазменная электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 89-4/3329-x
FB 9 89-4/3330-3