Казаков, Анатолий Иванович. - Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т стали и сплавов. - Москва, 1992. - 36 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Казаков, Анатолий Иванович.
Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т стали и сплавов. - Москва, 1992. - 36 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т стали и сплавов. - Москва, 1992. - 36 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 92-4/254-0
FB 9 92-4/255-9
Описание
| Автор | Казаков, Анатолий Иванович |
|---|---|
| Заглавие | Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 29.09.1992 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Моск. ин-т стали и сплавов |
| Выходные данные | Москва, 1992 |
| Физическое описание | 36 с. |
| Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
| BBK-код | З843.308-1с116,0 |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 92-4/254-0 |
| FB 9 92-4/255-9 |
