Бабин, Сергей Владимирович - Исследование физических механизмов электронно-лучевой литографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04

Карточка

Бабин, Сергей Владимирович.

Исследование физических механизмов электронно-лучевой литографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / МГУ им. М. В. Ломоносова. - Черноголовка, 1988. - 12 с.
Физическая электроника
FB 9 88-3/200-1
FB 9 88-3/201-x

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование физических механизмов электронно-лучевой литографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04
Дата поступления в ЭК 04.01.1989
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМГУ им. М. В. Ломоносова
Выходные данныеЧерноголовка, 1988
Физическое описание12 с.
ТемаФизическая электроника
BBK-кодЗ844.1-060.6-1,0
З995-5-065.06-1,0
Специальность01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 88-3/200-1
FB 9 88-3/201-x