Цыганков, Петр Анатольевич. - Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14 / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 1996. - 15 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Цыганков, Петр Анатольевич.
Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14 / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 1996. - 15 с.
Теплофизика и молекулярная физика
Шифр хранения:
Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14 / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 1996. - 15 с.
Теплофизика и молекулярная физика
Шифр хранения:
FB 9 96-3/393-4
FB 9 96-3/394-2
Описание
| Автор | Цыганков, Петр Анатольевич |
|---|---|
| Заглавие | Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 05.02.1997 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 31.07.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | МГТУ им. Н. Э. Баумана |
| Выходные данные | Москва, 1996 |
| Физическое описание | 15 с. |
| Тема | Теплофизика и молекулярная физика |
| BBK-код | Ж614-1,0 |
| Специальность | 01.04.14: Теплофизика и теоретическая теплотехника |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 96-3/393-4 |
| FB 9 96-3/394-2 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
