Цыганков, Петр Анатольевич - Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14

Цыганков, Петр Анатольевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Цыганков, Петр Анатольевич.
Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14 / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 1996. - 15 с.

Теплофизика и молекулярная физика
Шифр хранения:
FB 9 96-3/393-4
FB 9 96-3/394-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 05.02.1997
Дата поступления в ЭБ 31.07.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМГТУ им. Н. Э. Баумана
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание15 с.
ТемаТеплофизика и молекулярная физика
BBK-кодЖ614-1,0
Специальность01.04.14: Теплофизика и теоретическая теплотехника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 96-3/393-4
FB 9 96-3/394-2
Электронный адрес Электронный ресурс