Пашков, Владимир Юрьевич. - Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ точного машиностроения. - Москва, 1996. - 25 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Пашков, Владимир Юрьевич.
Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ точного машиностроения. - Москва, 1996. - 25 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ точного машиностроения. - Москва, 1996. - 25 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 96-3/4051-1
FB 9 96-3/4052-X
Описание
| Автор | Пашков, Владимир Юрьевич |
|---|---|
| Заглавие | Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 27.03.1997 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 20.09.2007 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | НИИ точного машиностроения |
| Выходные данные | Москва, 1996 |
| Физическое описание | 25 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.152-060.14-1с3,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 96-3/4051-1 |
| FB 9 96-3/4052-X | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
