Ефремов, Александр Михайлович. - Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Ивановская хим.-технол. академия. - Иваново, 1994. - 16 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Ефремов, Александр Михайлович.
Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Ивановская хим.-технол. академия. - Иваново, 1994. - 16 с.
Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Плазменная обработка деталей -- Теория, исследования
Физическая химия
Шифр хранения:
Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Ивановская хим.-технол. академия. - Иваново, 1994. - 16 с.
Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Плазменная обработка деталей -- Теория, исследования
Физическая химия
Шифр хранения:
FB 9 94-3/241-x
FB 9 94-3/242-8
Описание
| Автор | Ефремов, Александр Михайлович |
|---|---|
| Заглавие | Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 30.01.1995 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 13.12.2007 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Ивановская хим.-технол. академия |
| Выходные данные | Иваново, 1994 |
| Физическое описание | 16 с. |
| Тема | Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Плазменная обработка деталей -- Теория, исследования |
| Физическая химия | |
| BBK-код | Г597,0 |
| З844.1-060.14-1,0 | |
| Специальность | 02.00.04: Физическая химия |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 94-3/241-x |
| FB 9 94-3/242-8 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
