Ефремов, Александр Михайлович - Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04

Карточка

Ефремов, Александр Михайлович.
Ефремов, Александр Михайлович.

Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Ивановская хим.-технол. академия. - Иваново, 1994. - 16 с.
Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Плазменная обработка деталей -- Теория, исследования
Физическая химия
FB 9 94-3/241-x
FB 9 94-3/242-8

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеКинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 30.01.1995
Дата поступления в ЭБ 13.12.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИвановская хим.-технол. академия
Выходные данныеИваново, 1994
Физическое описание16 с.
ТемаМикроэлектроника -- Технология изготовления -- Плазменная обработка деталей -- Теория, исследования
Физическая химия
BBK-кодГ597,0
З844.1-060.14-1,0
Специальность02.00.04: Физическая химия
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-3/241-x
FB 9 94-3/242-8
Электронный адрес Электронный ресурс