Мухамедханов, Улугбек Тургудович - Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13

Карточка

Мухамедханов, Улугбек Тургудович.
Мухамедханов, Улугбек Тургудович.

Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни. - Ташкент, 1989. - 22 с.
Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
FB 9 90-2/2432-9
FB 9 90-2/2433-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеКолориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 04.04.1990
Дата поступления в ЭБ 21.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиТашк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
Выходные данныеТашкент, 1989
Физическое описание22 с.
ТемаПриборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
BBK-кодЗ844.15-060.7-7с349,0
Специальность05.11.13: Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-2/2432-9
FB 9 90-2/2433-7
Электронный адрес Электронный ресурс