Рау, Эдуард Иванович - Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01

Карточка

Рау, Эдуард Иванович.
Рау, Эдуард Иванович.

Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Рос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения. - Москва, 1993. - 26 с.
Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
FB 9 93-2/651-5

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЛокальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 28.07.1993
Дата поступления в ЭБ 15.07.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения
Выходные данныеМосква, 1993
Физическое описание26 с.
ТемаТехника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
BBK-кодВ379.221,03
Специальность01.04.01: Приборы и методы экспериментальной физики
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 93-2/651-5
Электронный адрес Электронный ресурс