Рау, Эдуард Иванович. - Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Рос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения. - Москва, 1993. - 26 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Рау, Эдуард Иванович.
Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Рос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения. - Москва, 1993. - 26 с.
Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
Шифр хранения:
Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Рос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения. - Москва, 1993. - 26 с.
Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
Шифр хранения:
FB 9 93-2/651-5
Описание
| Автор | Рау, Эдуард Иванович |
|---|---|
| Заглавие | Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 28.07.1993 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 14.07.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Рос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения |
| Выходные данные | Москва, 1993 |
| Физическое описание | 26 с. |
| Тема | Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований |
| BBK-код | В379.221,03 |
| Специальность | 01.04.01: Приборы и методы экспериментальной физики |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 93-2/651-5 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
