Маслаков, Александр Иванович - Литографические процессы на основе элементоорганических соединениий : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Маслаков, Александр Иванович.

Литографические процессы на основе элементоорганических соединениий : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 16 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 90-6/489-x
FB 9 90-6/490-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЛитографические процессы на основе элементоорганических соединениий : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 17.09.1990
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФиз.-технол. ин-т
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание16 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.1-060.6,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-6/489-x
FB 9 90-6/490-3