Андреев, Андрей Юрьевич - Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Андреев, Андрей Юрьевич.

Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. - Горький, 1990. - 19 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 90-10/3324-1
FB 9 90-10/3325-x

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЛегирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 15.03.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиГорьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Выходные данныеГорький, 1990
Физическое описание19 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.251.4-6,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-10/3324-1
FB 9 90-10/3325-x