Варламов, Алексей Геннадьевич - Макрокинетика газофазного осаждения покрытий из (Si-N-C) -материала на нагретую подложку : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.17

Карточка

Варламов, Алексей Геннадьевич.

Макрокинетика газофазного осаждения покрытий из (Si-N-C) -материала на нагретую подложку : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.17 / АН СССР. Ин-т хим. физики им. Н. Н. Семенова. - Москва, 1989. - 14 с.
Химическая физика, в том числе физика горения и взрыва
FB 9 89-8/3651-3
FB 9 89-8/3652-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМакрокинетика газофазного осаждения покрытий из (Si-N-C) -материала на нагретую подложку : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.17
Дата поступления в ЭК 28.12.1989
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Ин-т хим. физики им. Н. Н. Семенова
Выходные данныеМосква, 1989
Физическое описание14 с.
ТемаХимическая физика, в том числе физика горения и взрыва
BBK-кодЗ852-060.7-1,0
Специальность01.04.17: Химическая физика, горение и взрыв, физика экстремальных состояний вещества
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 89-8/3651-3
FB 9 89-8/3652-1