Табулин, Александр Иосифович. - Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Минский радиотехнический ин-т. - Минск, 1991. - 15 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Табулин, Александр Иосифович.
Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Минский радиотехнический ин-т. - Минск, 1991. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Минский радиотехнический ин-т. - Минск, 1991. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 91-7/1211-3
FB 9 91-7/1212-1
Описание
| Автор | Табулин, Александр Иосифович |
|---|---|
| Заглавие | Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 17.02.1992 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Минский радиотехнический ин-т |
| Выходные данные | Минск, 1991 |
| Физическое описание | 15 с. |
| Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
| BBK-код | З844.15-060.6-5-082.051,0 |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 91-7/1211-3 |
| FB 9 91-7/1212-1 |
