Табулин, Александр Иосифович - Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Табулин, Александр Иосифович.

Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Минский радиотехнический ин-т. - Минск, 1991. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 91-7/1211-3
FB 9 91-7/1212-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатематические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 17.02.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМинский радиотехнический ин-т
Выходные данныеМинск, 1991
Физическое описание15 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ844.15-060.6-5-082.051,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 91-7/1211-3
FB 9 91-7/1212-1