Илькаев, Дмитрий Радиевич - Моделирование и оптимизация процессов экспонирования и проявления фоторезистов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Илькаев, Дмитрий Радиевич.

Моделирование и оптимизация процессов экспонирования и проявления фоторезистов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1990. - 17 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 90-6/391-5
FB 9 90-6/392-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование и оптимизация процессов экспонирования и проявления фоторезистов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 30.08.1990
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Физ.-технол. ин-т
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание17 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.6-3,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-6/391-5
FB 9 90-6/392-3