Фрейвалде, Илзе Рихардовна - Моделирование кремниевых структур в эллипсометрии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Фрейвалде, Илзе Рихардовна.

Моделирование кремниевых структур в эллипсометрии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / АН ССР Молдова. Ин-т прикладн. физ. - Кишинев, 1990. - 16 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 90-9/57-x
FB 9 90-9/58-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование кремниевых структур в эллипсометрии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 16.01.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН ССР Молдова. Ин-т прикладн. физ.
Выходные данныеКишинев, 1990
Физическое описание16 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.226с31,03
В372.5с31,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-9/57-x
FB 9 90-9/58-8