Жуков, Андрей Александрович. - Метод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Рос. технол. ун-т. - Москва, 1997. - 24 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Жуков, Андрей Александрович.
Метод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Рос. технол. ун-т. - Москва, 1997. - 24 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Метод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Рос. технол. ун-т. - Москва, 1997. - 24 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 97-5/2072-5
FB 9 97-5/2073-3
FB 9 98-4/1445-6
FB 9 98-4/1446-4
Описание
Автор | Жуков, Андрей Александрович |
---|---|
Заглавие | Метод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 19.03.1998 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 05.05.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Рос. технол. ун-т |
Выходные данные | Москва, 1997 |
Физическое описание | 24 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З844.1-060.7-1,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 97-5/2072-5 |
FB 9 97-5/2073-3 | |
FB 9 98-4/1445-6 | |
FB 9 98-4/1446-4 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |