Жуков, Андрей Александрович - Метод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Жуков, Андрей Александрович.
Жуков, Андрей Александрович.

Метод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Рос. технол. ун-т. - Москва, 1997. - 24 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 97-5/2072-5
FB 9 97-5/2073-3
FB 9 98-4/1445-6
FB 9 98-4/1446-4

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМетод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 19.03.1998
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. технол. ун-т
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание24 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.1-060.7-1,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 97-5/2072-5
FB 9 97-5/2073-3
FB 9 98-4/1445-6
FB 9 98-4/1446-4
Электронный адрес Электронный ресурс