Мануйлов, Вадим Викторович. - Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1991. - 21 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Мануйлов, Вадим Викторович.
Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1991. - 21 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1991. - 21 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 91-5/3058-9
FB 9 91-5/3059-7
Описание
Автор | Мануйлов, Вадим Викторович |
---|---|
Заглавие | Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 02.12.1991 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 30.09.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина |
Выходные данные | Москва, 1991 |
Физическое описание | 21 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З844.15-060.6-1с116,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 91-5/3058-9 |
FB 9 91-5/3059-7 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |