Мануйлов, Вадим Викторович - Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Мануйлов, Вадим Викторович.
Мануйлов, Вадим Викторович.

Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1991. - 21 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 91-5/3058-9
FB 9 91-5/3059-7

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 02.12.1991
Дата поступления в ЭБ 30.09.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина
Выходные данныеМосква, 1991
Физическое описание21 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.6-1с116,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 91-5/3058-9
FB 9 91-5/3059-7
Электронный адрес Электронный ресурс