Мануйлов, Вадим Викторович. - Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1991. - 21 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Мануйлов, Вадим Викторович.
Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1991. - 21 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1991. - 21 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 91-5/3058-9
FB 9 91-5/3059-7
Описание
| Автор | Мануйлов, Вадим Викторович |
|---|---|
| Заглавие | Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 02.12.1991 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 30.09.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина |
| Выходные данные | Москва, 1991 |
| Физическое описание | 21 с. |
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
| BBK-код | З844.15-060.6-1с116,0 |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 91-5/3058-9 |
| FB 9 91-5/3059-7 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
