Хохлов, Дмитрий Александрович - Модификация структуры и свойств аморфного кремния при ионной имплантации и отжиге : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Хохлов, Дмитрий Александрович.
Хохлов, Дмитрий Александрович.

Модификация структуры и свойств аморфного кремния при ионной имплантации и отжиге : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Нижегородский ун-т. - Нижний Новгород, 1997. - 21 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 98-1/2665-5
FB 9 98-1/2666-3

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМодификация структуры и свойств аморфного кремния при ионной имплантации и отжиге : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 02.06.1998
Дата поступления в ЭБ 12.12.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНижегородский ун-т
Выходные данныеНижний Новгород, 1997
Физическое описание21 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.224,03
В379.251-6,03
Л253.2-1,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-1/2665-5
FB 9 98-1/2666-3
Электронный адрес Электронный ресурс