Носков, Анатолий Григорьевич. - Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 21 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Носков, Анатолий Григорьевич.
Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 21 с.
Физика твердого тела
Шифр хранения:
Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 21 с.
Физика твердого тела
Шифр хранения:
FB 9 90-3/2097-2
FB 9 90-3/2098-0
Описание
| Автор | Носков, Анатолий Григорьевич |
|---|---|
| Заглавие | Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 27.04.1990 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников |
| Выходные данные | Новосибирск, 1989 |
| Физическое описание | 21 с. |
| Тема | Физика твердого тела |
| BBK-код | З844.15-036-1с,0 |
| Специальность | 01.04.07: Физика конденсированного состояния |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 90-3/2097-2 |
| FB 9 90-3/2098-0 |
