Носков, Анатолий Григорьевич - Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Карточка

Носков, Анатолий Григорьевич.

Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 21 с.
Физика твердого тела
FB 9 90-3/2097-2
FB 9 90-3/2098-0

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМеханические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Дата поступления в ЭК 27.04.1990
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников
Выходные данныеНовосибирск, 1989
Физическое описание21 с.
ТемаФизика твердого тела
BBK-кодЗ844.15-036-1с,0
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 90-3/2097-2
FB 9 90-3/2098-0