Носков, Анатолий Григорьевич. - Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 21 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Носков, Анатолий Григорьевич.
Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 21 с.
Физика твердого тела
Шифр хранения:
Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 21 с.
Физика твердого тела
Шифр хранения:
FB 9 90-3/2097-2
FB 9 90-3/2098-0
Описание
Автор | Носков, Анатолий Григорьевич |
---|---|
Заглавие | Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, осажденных из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 27.04.1990 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников |
Выходные данные | Новосибирск, 1989 |
Физическое описание | 21 с. |
Тема | Физика твердого тела |
BBK-код | З844.15-036-1с,0 |
Специальность | 01.04.07: Физика конденсированного состояния |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 90-3/2097-2 |
FB 9 90-3/2098-0 |