Мартюшенко, Алексей Викторович - Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Мартюшенко, Алексей Викторович.
Мартюшенко, Алексей Викторович.

Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т Микроэлектроники РАН. - Москва, 1995. - 15 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 96-1/3775-9
FB 9 96-1/3776-7
FB 9 96-1/4121-7
FB 9 96-1/4122-5

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 25.11.1996
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т Микроэлектроники РАН
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание15 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.152-060.7-5-01с116,0
З844.13-060.7-5-028.3с116,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 96-1/3775-9
FB 9 96-1/3776-7
FB 9 96-1/4121-7
FB 9 96-1/4122-5
Электронный адрес Электронный ресурс