Мартюшенко, Алексей Викторович - Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Мартюшенко, Алексей Викторович.
Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т Микроэлектроники РАН. - Москва, 1995. - 15 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т Микроэлектроники РАН. - Москва, 1995. - 15 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 96-1/3775-9
FB 9 96-1/3776-7
FB 9 96-1/4121-7
FB 9 96-1/4122-5
Описание
Автор | Мартюшенко, Алексей Викторович |
---|---|
Заглавие | Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 25.11.1996 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 05.05.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Ин-т Микроэлектроники РАН |
Выходные данные | Москва, 1995 |
Физическое описание | 15 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З844.152-060.7-5-01с116,0 |
З844.13-060.7-5-028.3с116,0 | |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 96-1/3775-9 |
FB 9 96-1/3776-7 | |
FB 9 96-1/4121-7 | |
FB 9 96-1/4122-5 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |