Лойко, Нушин Надеровна - Метод фотостимулированной очистки и выращивания полупроводниковых слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Лойко, Нушин Надеровна.

Метод фотостимулированной очистки и выращивания полупроводниковых слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / АН СССР. Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева. - Москва, 1989. - 14 с.
FB 9 89-3/211-x
FB 9 89-3/212-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМетод фотостимулированной очистки и выращивания полупроводниковых слоев : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 20.04.1989
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева
Выходные данныеМосква, 1989
Физическое описание14 с.
BBK-кодЗ843.310.8,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 89-3/211-x
FB 9 89-3/212-8