Султанов, Марат Абдыразакович - Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Султанов, Марат Абдыразакович.

Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Гос. ком. СССР по нар. образованию. Моск. ин-т стали и сплавов. - Москва, 1989. - 24 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 89-4/3939-5
FB 9 89-4/3940-9

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМеханизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 02.08.1989
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиГос. ком. СССР по нар. образованию. Моск. ин-т стали и сплавов
Выходные данныеМосква, 1989
Физическое описание24 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.226,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 89-4/3939-5
FB 9 89-4/3940-9